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封装测试厂从来料(晶圆)开始,经过前道的晶圆表面贴膜(WTP)晶圆背面研磨(GRD)晶圆背面抛光(polish)晶圆背面贴膜(W-M)晶圆表面...
标签:半导体 cvd 工艺流程 设备 工作 原理 封装
18 2023-12
扩散(Diffusion) 清洁(CLN) 离子注入(IMP) 镀膜 (CVD =化学气相沉积) 电镀(Metal) CMP(化学机械抛光制程-chemical mechanical polishing) 量测 (...
标签:芯片 制造 过程中 Diff CLN IMP CVD MetalMP Metrology
13 2023-09
这些步骤包括预清洗(T艺要求的刻蚀)、G548A2P1UF淀积和评估。我们已经描述过清洗工艺,即用于去除微粒和可动的离子污染。化学气相淀积...
标签:cvd 薄膜 制备 技术 四个 过程 生长 这些 步骤
30 2023-08