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半导体cvd工艺流程?半导体cvd设备工作原理

发布时间:2023-12-18 11:48来源:本站点击:标签: 原理 工作 设备 工艺流程 半导体 封装 cvd

  封装测试厂从来料(晶圆)开始,经过前道的晶圆表面贴膜(WTP)→晶圆背面研磨(GRD)→晶圆背面抛光(polish)→晶圆背面贴膜(W-M)→晶圆表面去膜(WDP)→晶圆烘烤(WBK)→晶圆切割(SAW)→切割后清洗(DWC)→晶圆切割后检查(PSI)→紫外线照射(U-V)→晶片粘结(DB)→银胶固化(CRG)→引线键合(WB)→引线键合后检查(PBI);在经过后道的塑封(MLD)→塑封后固化(PMC)→正印(PTP)→背印(BMK)→切筋(TRM)→电镀(SDP)→电镀后烘烤(APB)→切筋成型(T-F)→终测(FT1)→引脚检查(LSI)→最终目检(FVI)→最终质量控制(FQC)→烘烤去湿(UBK)→包装(P-K)→出货检查(OQC)→入库(W-H)等工序对芯片进行封装和测试,最终出货给客户 Mounting-->sawing-->die bond-->wire bond-->mold-->plating-->trim/form-->test-->packing 如果需要详细流程请留邮箱

  化学气相沉积CVD工艺也是半导体行业中的一种标准工艺,CVD工艺制备光波导的流程,它是在硅基片(或者石英基片)上相继沉积具有不同掺杂层的光波导层,比如芯层通过掺磷、硼来提高折射率,包层通过掺锗来降低折射率。

  在沉积芯层之后与沉积上包层之前,需要通过光刻工艺来制备掩膜层,定义光波导图形。

  在每一层沉积之后,都需要退火硬化工艺来增强沉积层的致密度和均匀性,并减小应力。

  

半导体cvd工艺流程?半导体cvd设备工作原理

  

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