目前全球最小制程的芯片是4nm，是使用荷兰阿斯麦尔13.5nm极紫外光光源euv光刻机生产的，而该光源理论极限要大于1nm，所以0.01nm这种光刻机以现有技术根本实现不了，而且整个光刻机体系从理论上是完全实现不了的，毕竟1纳米已经接近单个原子的范畴了。