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晶圆薄膜制造过程?晶圆薄膜工艺

发布时间:2023-12-09 06:16来源:本站点击:标签: 制造 过程 工艺 薄膜 晶圆

  从晶圆薄膜制造来看,主要工序流程可分为氧化光刻—刻蚀—抛光—离子植入—沉积—金属化—测试。

  

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