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芯片前端工艺流程?芯片前端工艺流程视频

发布时间:2023-12-14 18:16来源:本站点击:标签: 使用 芯片 制作 工艺流程 视频 晶圆 前端

   1.制作晶圆。使用晶圆切片机将硅晶棒切割出所需厚度的晶圆。

  2.晶圆涂膜。在晶圆表面涂上光阻薄膜,该薄膜能提升晶圆的抗氧化以及耐温能力。

  3.晶圆光刻显影、蚀刻。使用紫外光通过光罩和凸透镜后照射到晶圆涂膜上,使其软化,然后使用溶剂将其溶解冲走,使薄膜下的硅暴露出来。

  

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  4.离子注入。使用刻蚀机在裸露出的硅上刻蚀出N阱和P阱,并注入离子,形成PN结(逻辑闸门);然后通过化学和物理气象沉淀做出上层金属连接电路。

  

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  5.晶圆测试。经过上面的几道工艺之后,晶圆上会形成一个个格状的晶粒。通过针测的方式对每个晶粒进行电气特性检测。

  

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